椭偏仪
用于穆勒矩阵测量的超精密双补偿器旋转
椭偏仪通过偏振光与薄膜的相互作用实现亚纳米级薄膜厚度与光学常数测量，是晶圆制造中不可或缺的计量工具。其核心的双旋转补偿器（DRC）需要高精度、高同步、低振动的运动控制。Agito AGD200 两轴控制器的超高精度电子齿轮算法，搭配 Akribis ACD 直驱中空旋转电机，提供可靠的高精度解决方案，目前已在国内头部半导体企业批量部署并得到充分验证。
应用示意
为何选择 Agito
超高精度同步
16 kHz 伺服闭环采样配合电子齿轮算法，双轴严格同步，角度偏差远小于 0.01°（实测约 0.0006°）。
直驱零齿槽
ACD57 无铁芯直驱电机零齿槽转矩，配合 FOC 正弦波驱动，速度纹波极低，保障光学测量数据稳定。
极低振动
从无铁芯电机结构到控制算法的全链路振动抑制，振动量级 < 0.1 g，满足亚纳米级测量要求。
性能
| 角度同步偏差 | 约 0.0006°（实测 0.0005904°） |
|---|---|
| 跟随误差 | 1:5 速比（240 / 1200 rpm）下 ≤ 0.00375° |
| 速度波动 | ±0.0417% |
| 齿轮比 | 软件可自由设置，支持多种编码器协议 |
解决方案与系统配置
AGD200 两轴驱控一体单元搭配 Akribis ACD57 无铁芯中空直驱旋转电机：零齿槽转矩、高动态响应、中空结构便于光路布置、无背隙且免维护，可实现亚弧秒级定位精度。