误差映射

基于校准图的一维/二维/三维几何误差补偿

通过将实测位置误差与激光干涉仪等校准基准进行映射并实时补偿，来修正系统性机械误差。一维、二维和三维映射可即时消除直线度、垂直度与平面度误差，使成本更低的平台达到更高精度。同一映射还会修正位置事件（Position Event）的触发位置。